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分子束外延系统的作用与分类
日期：2025-05-01 07:23
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摘要：
分子束外延系统是半导体、光伏新材料、科学研发领域重要设备之一，近年来，随着半导体、新材料等行业发展，分子束外延系统市场需求不断释放。
分子束外延系统是一种用于物理学、化学、材料科学领域的分析仪器。分子束外延（MBE）是一种新的晶体增长技术，是在超高真空环境下，使具有一定热能的一种或多种分子（原子）束流喷射到晶体衬底，在衬底表面发生反应的过程。作为新外延制膜方法，分子束外延具有束流强度易控制、衬底温度低、膜层生长速率慢、可实现选择性外延生长等优势。
根据类型不同，分子束外延系统可分为普通型、激光型，其中普通型分子束外延系统是市场主流产品，市场占比超过七成。激光分子束外延系统是基于传统的分子束外延系统和脉冲激光沉积系统（PLD）发展起来的，其属于**薄膜制备设备，未来应用前景更广阔。
分子束外延系统是一种用于物理学、化学、材料科学领域的分析仪器。分子束外延（MBE）是一种新的晶体增长技术，是在超高真空环境下，使具有一定热能的一种或多种分子（原子）束流喷射到晶体衬底，在衬底表面发生反应的过程。作为新外延制膜方法，分子束外延具有束流强度易控制、衬底温度低、膜层生长速率慢、可实现选择性外延生长等优势。
根据类型不同，分子束外延系统可分为普通型、激光型，其中普通型分子束外延系统是市场主流产品，市场占比超过七成。激光分子束外延系统是基于传统的分子束外延系统和脉冲激光沉积系统（PLD）发展起来的，其属于**薄膜制备设备，未来应用前景更广阔。