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激光分子束外延系统基本配置的介绍
日期：2025-05-01 21:03
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摘要：
激光分子束外延系统集PLD的制膜特点和传统MBE的超高真空**控制原子尺度外延生长的原位实时监控为一体，除保持了PLD方法制备的膜系宽，还可以生长通常的半导体超晶格材料，特别适合生长多元素、高熔点、复杂层状结构的薄膜，如超导体、光学晶体、铁电体、压电体、铁磁体等，同时还能进行其相应的激光与物质相互作用和成膜过程的物理、化学等方面的基础研究。
基本配置如下：
沉积腔体程控系统
多靶材操作系统
激光二极管基板加热系统
反射高能电子衍射仪系统
单轴组合光罩定位装置
加载互锁传送真空室
准分子激光器系统
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